上世紀70年代中期，美國和德國首先將分子篩技術應用于空氣分離。1985年，美國的Praxair公司研制出第一臺小型制氧機，這標志著分子篩技術小型化的開始。在裝置規模上，分子篩制氧機正朝著大型化、微型化和高純度三個方向發展。微型化方面，微型變壓吸附制氧技術主要用于醫用保健制氧機，它要求制氧機具有體積小、重量輕、移動方便、噪音小和能耗低的特點。同時，微型制氧機的循環工藝流程也在不斷發展中。
隨著醫療手段的改進，醫用制氧機在國內已逐步推廣使用，它克服了瓶裝氧氣及液態氧的缺點與隱患。目前已成為醫院中心供氧工程中的一個重要組成部分，其優良的安全性、可靠性、經濟性為醫院所首肯。
據統計2021年我國制氧機行業銷售收入為98.90億元，同期國內進口金額為0.10億元，出口金額為44.10億元，國內市場規模為54.90億元。
便攜式制氧機是我國制氧機產業的重要組成部分，憑借體積小、重量輕、操作方便等特點，廣泛應用于家用市場。2011年我國便攜式制氧機市場規模為1.96億元，到2021年我國便攜式制氧機需求量達到196.60萬臺，國內規模為47.58億元。
